Arradiance lance GEMStar?, un nouveau systme de dpt de couches atomiques (ALD) puissant de format paillasse

Arradiance a annonc aujourd'hui le lancement de son nouveau systme de dpt de couches atomiques (ALD) puissant de format paillasse, GEMStar?, esimultanment avec le dbut de la runion annuelle sur le dpt de couches atomiques organise par l'American Vacuum Society Soul, en Core, o le Dr Philippe de Rouffignac, principal scientifique des matriaux chez Arradiance, a t invit s'exprimer sur le sujet suivant : L'ALD du SnO2 comme composant actif d'un dtecteur direct neutrons rapides en plastique bas sur microcanal . Le GEMStar, pour lequel Arradiance a dj reu de nombreuses commandes manant de centres de recherche majeurs, peut tre utilis pour dposer de fines couches de matriau sur quasiment n'importe quel substrat ; il a t conu avec le ratio d'aspect lev le plus exigeant et en ayant tenant compte des applications de dpt dans les pores.

Le systme GEMStar intgre la capacit de traiter des wafers de 15cm ou des solides jusqu' 2,54cm de profondeur, avec l'espace ncessaire pour 8 prcurseurs au maximum, dans un format minuscule de 78 x 61 x 28cm, sans sacrifier la maintenabilit ni la qualit de film. Le systme comporte galement un port pour dispositif de mtrologie in situ optionnel, une fonction optionnelle d'assistance azote, une capacit d'utiliser des prcurseurs chauffs et une valve MFC embarque. Le logiciel GEMFlow?d'Arradiance, robuste et convivial, ainsi que cinq formules pr-qualifies sont fournis en standard.

A partir de notre travail avec des structures microcanal sensibles ratio d'aspect lev, nous avons rellement pris conscience de la ncessit de disposer d'un systme dans lequel il nous est possible de dposer des films de nanolaminates complexes de manire rptitive, uniforme et efficace , explique le Dr de Rouffignac. En discutant avec des acteurs majeurs du secteur, nous avons galement compris que la taille du systme, son prix, sa flexibilit concernant les dimensions de wafer et la disponibilit de prcurseur constituent galement des critres essentiels pour rpondre aux besoins du march de la R&D .

David Beaulieu, Directeur gnral d'Arradiance, ajoute : Nous avons appris partir de nos propres applications qu'une conception uniforme et le contrle des paramtres sont fondamentaux pour la russite du dveloppement. Notre racteur unique, le manifold prcurseur chauff et le systme de fourniture de gaz multicanal, avec des commandes de chauffage de prcurseur individuelles, nous confrent la puissance et la flexibilit ncessaires pour traiter tout film complexe .

A propos d'Arradiance

Arradiance nous permet de mieux percevoir le monde cach qui nous entoure. Leurs technologies de film fonctionnel amliorent beaucoup les performances des systmes d'imagerie et de dtection, apportant des amliorations en termes de rsolution, de gain et de dure de vie auparavant inaccessibles. Leurs processus ouvriront la porte un nouvel univers de systmes lectro-optiques flexibles et robustes qui changeront notre faon de voir le monde. Pour un complment d'information, rendez-vous sur www.arradiance.com.

Photos/ Galerie multimdia : http://www.businesswire.com/cgi-bin/mmg.cgi?eid=6334466&lang=fr

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