SOITEC et ASM International annoncent une avancée majeure dans leur programme de développement de plaques de silicium contraint sur isolant
Soitec démarre la première ligne pilote au monde pour la production de plaques de silicium sur isolant de taille 300 mm
Bernin, France, et Bilthoven, Hollande - Le 12 juillet 2004-Soitec (Euronext Paris) et ASM International N.V. (NASDAQ: ASMI; Euronext Amsterdam: ASM) annoncent aujourd'hui une avancée majeure dans leur programme de développement pour associer les avantages en terme de vitesse/performance du silicium contraint avec ceux de puissance/performance du silicium sur isolant (SOI.) Un résultat majeur de ce projet fut l'introduction d'une contrainte bidirectionnelle et uniforme a l'échelle d'une plaque entière, une particularité extrêmement intéressante pour les fabricants de circuits intégrés qui apporte une plus grande flexibilité et une meilleure performance par rapport aux techniques de contrainte localisée utilisées aujourd'hui. Les nouveaux types de plaques de silicium contraint sur isolant que Soitec proposera sur le marché ne seront pas dépendants de l'architecture des composants et pourront permettre l'émergence d'une nouvelle génération de circuits intégrés de pointe.
Les dirigeant de Soitec et ASM annoncent que l'année de collaboration entre les deux sociétés a permis la fabrication de plaques de silicium contraint sur isolant de très bonne qualité, avec une contrainte uniforme sur l'ensemble de la plaque, sans le niveau élevé de défauts cristallins traditionnellement présents lorsque le silicium est contraint. La qualité sans précédent de la couche contrainte a réduit les niveaux de défectivité d'un facteur 100 à 1000 par rapport aux standards de l'industrie, amenant le film de silicium contraint sur isolant proche de la qualité du SOI et de celui du silicium de base.
En conséquence, les fabricants de circuits intégrés auront accès à des plaques de silicium contraint sur isolant qui permettront de dépasser l'obstacle que constitue la dissipation de chaleur, un obstacle toujours plus critique pour les puces de hautes performances. Et puisque cette contrainte au niveau de la plaque n'est plus dépendante de l'architecture des composants, les plaques de silicium contraint sur isolant permettront une gamme plus large d'applications à forte vitesse et faible consommation, incluant la logique haute performance.
"En mettant au point avec succès, pour la première fois dans l'industrie, une contrainte uniforme sur l'ensemble des plaques, nous avons atteint une étape majeure pour accélérer la mise à disposition de plaques de silicium contraint sur isolant pour les nouvelles générations de circuits intégrés," déclare André Auberton-Hervé, Président Directeur Général de Soitec. " Non seulement, Soitec est la première société au monde à proposer des plaques de silicium contraint sur isolant de taille 300 mm, mais elle prévoit également la production industrielle des ces plaques. Nous sommes donc cohérents avec notre engagement d'innovation, de développement et d'industrialisation de substrats de futures générations. Ces plaques de silicium contraint sur isolant de taille 300 mm vont permettre à l'industrie des circuits intégrés de dépasser ses limites de performance et permettre de poursuivre la progression de la loi de Moore."
Soitec et ASM ont exprimé leur satisfaction au vu de ce succès technologique intégrant à la fois la technologie de silicium contraint développée par ASM et celle de Soitec, leader de l'industrie du SOI. Ceci fut rendu possible grâce au portefeuille de brevets et de technologies de Soitec connu sous le nom de Smart Cut(TM) , qui sera un élément clé dans la production en fort volume de silicium contraint sur isolant. Soitec échantillonne des plaques de silicium contraint sur isolant de taille 200 mm depuis le second trimestre 2003 et met actuellement en service sa ligne de production de 300 mm - la première au monde - pour l'échantillonnage et la pré-production. Cet échantillonnage en amont permet à l'industrie d'explorer les gains en performance de ces matériaux directement sur les circuits vises et de répondre aux besoins émergents de la technologie 65 manomètres et au-delà.
Arthur Del Prado, Président Directeur Général d'ASM, a déclaré: "nous nous félicitons de la synergie mise en oeuvre avec Soitec dans le développement de nouveaux matériaux pour les applications CMOS avancées. Nous avons été capables de répondre à la demande de Soitec en terme de technologie, de qualité et de coût de fabrication sur une très courte période."
Afin de contribuer à la réalisation des objectifs de Soitec, ASM a livré, en début d'année, un réacteur 300 mm Epsilon 3200 à basse température pour compléter le four vertical 300 mm A412 utilisé dans le site de production 300 mm de Soitec. Ces deux machines ASM furent utilisées lors du programme de développement entre les deux sociétés et ont déjà été testées en production chez les plus grands fabricants de composants dans le monde.
A propos de Soitec : Soitec est le premier fabricant et fournisseur mondial de plaques SOI (silicon-on-insulator), basées sur la technologie Smart Cut(TM). Basé à Bernin, France, Soitec produit une gamme étendue de matériaux avancés en couches fines pour la micro-électronique, notamment les plaques SOI UNIBOND(TM). Les actions et les Océanes de Soitec sont cotées sur le Nouveau Marché d'Euronext Paris (codes ISIN FR0004025062 - SOI et FR0000182537.) Des informations complémentaires sur Soitec sont disponibles sur le site Internet : www.soitec.com
Smart Cut et UNIBOND sont des marques déposées de S.O.I.TEC Silicon On Insulator Technologies.
A propos de ASM International: ASM International N.V. est située à Bilthoven en Hollande. ASM International est une société globale qui sert une des industries les plus exigeantes du monde. ASM International est un fabricant d'équipements et de matériaux qui servent à la fabrication de semi-conducteurs, et possède des sites de productions aux Etats-Unis, en Europe, au Japon et en Asie. Les actions de ASM International sont cotées sur NASDAQ (code ASMI) et sur le marché Euronext d'Amsterdam (code ASM.) Des informations complémentaires sur ASM sont disponibles sur le site Internet : www.asm.com
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