Le premier outil cluster MEMS de 8” d’Oerlikon est en route pour la Corée

En juin, u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr), une unité d’infrastructure RFID/USN coréenne qui fournit un service de fonderie de capteurs MEMS (usine USN) et des activités associées RFID/USN, de la conception aux tests de produits RFID/USN (Laboratoire technique RFID/USN), a signé un contrat visant à acquérir un outil de fabrication CLUSTERLINE® 200 II d’Oerlikon pour la R&D et la production en masse de MEMS 6” & 8”.

En prenant cette décision, u-ITC se positionne pour devenir un des leaders en matière de développement de traitement de wafers de nouvelle génération dans le nord-est de l’Asie. CLUSTERLINE® sera installé à l’usine USN située au u-IT Cluster Center de Songdo, en Corée

« Nous avons évalué l’équipement de production de wafers disponible et avons été particulièrement impressionnés par Oerlikon, » a déclaré le Dr Sang-Chul Shin, président du u-IT Cluster Center. L’outil CLUSTERLINE® est approuvé par les plus grands fabricants de semi-conducteurs et de MEMS à l'échelle mondiale, car il est doté d’excellentes capacités de procédé pour la production, non seulement pour les MEMS mais aussi pour les UBM, BSM, TFH, IC et d’autres applications composites, un domaine dans lequel la société Oerlikon est la plus performante au niveau technologie et CoO depuis de nombreuses années.

« Cette plate-forme de production de choix à grand volume pour les applications hautement sophistiquées et spécialisées présente de nombreuses nouvelles opportunités pour les fabricants » a déclaré Andreas Dill, le directeur des systèmes chez Oerlikon. « Nous sommes fiers d’avoir été sélectionnés comme partenaire de choix. Le fait que nous ayons été récompensés du prix « VLSI 10 Best Award » pour la neuvième année consécutive confirme notre engagement envers le succès de nos clients. Il s’agit là d’une autre excellente récompense pour tous nos efforts visant à fournir au secteur des semiconducteurs des solutions de procédé et de production de qualité supérieure. »

CLUSTERLINE® 200 II dispose d’une vaste base installée dans le monde entier avec des fabricants de semi-conducteurs de premier plan. L’outil fournit des capacités de procédé d'avant-garde associées à la possibilité d'optimiser le système avec des fonctionnalités personnalisées supplémentaires. L’architecture de systèmes ouverts facilite la configuration de l’outil pour PVD, Soft Etch et PECVD. L’outil CLUSTERLINE® de nouvelle génération est entièrement compatible au niveau procédé avec les outils CLUSTERLINE antérieurs existant sur le marché, tout en assurant une extensibilité grâce à des fonctionnalités innovantes qui sont évidentes dans sa performance globale optimisée.

Oerlikon – Un leader de la haute technologie

Oerlikon (SWX : OERL) est un des groupes industriels high-tech spécialisés dans l’ingénierie machine et systèmes les plus performants au monde. La société est un leader dans le domaine des solutions industrielles et des technologies innovantes pour la manufacture du textile, les enduits à couche mince et le solaire à couche mince, la propulsion, la précision et les systèmes sous vide. Oerlikon, une société d’origine suisse riche d’un siècle de tradition, est un acteur mondial qui dispose d’un effectif de plus de 19 000 employés sur 170 sites dans 35 pays différents. Les ventes de la société se sont élevées à 5,6 milliards de francs suisses et elle occupe la première ou la seconde place dans chacun de ses marchés respectifs. En 2007, environ 5 % de son chiffre d’affaires a été investi dans la recherche et le développement (274 millions de francs suisses).

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